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自动化技术论文_集成Ti/TiO_2敏感电极和液接式A
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摘要:文章目录 0 引 言 1 器件设计与工作原理 1.1 传感器工作原理 1.2 传感器结构设计与制作 1.2.1 传感器芯片结构 1.2.2 工艺制备 1.2.3 参比电极的制备 1.2.4 敏感电极的制备 2 实 验 2.1 实验试剂
文章目录
0 引 言
1 器件设计与工作原理
1.1 传感器工作原理
1.2 传感器结构设计与制作
1.2.1 传感器芯片结构
1.2.2 工艺制备
1.2.3 参比电极的制备
1.2.4 敏感电极的制备
2 实 验
2.1 实验试剂与仪器
2.2 pH传感器参比电极测试
2.3 pH传感器灵敏度测试
2.3.1 溶液的配制
2.3.2 灵敏度测试
2.4 pH传感器重复性测试
2.5 pH传感器动态响应测试
2.6 pH传感器抗干扰性测试
2.7 温度传感器测试
2.8 温度对pH传感器测试结果的影响
2.9 pH传感器的温度补偿
3 结 论
文章摘要:常见的pH传感器大多采用电位法进行检测,基于电位法进行检测的传感器由敏感电极和参比电极组成。在尺寸仅为5 mm×5 mm的传感器芯片上制备了钛电极、银电极和铂电阻丝。采用电化学氧化的方法对钛电极进行阳极氧化制成Ti/TiO2敏感电极。采用电化学氯化的方法对银电极进行阳极氯化,再将饱和KCl溶液(3 mol/L)注入参比槽制成Ag/AgCl参比电极。铂电阻丝作为测温元件用于对pH值进行校准,电阻灵敏度约为14.21Ω/℃。在室温下、溶液温度为(13±1)℃时,测试芯片在不同pH值(4~10)溶液中的电压。通过线性分析得到传感器的分辨率约为17.92 mV/pH。控制溶液温度不变,对芯片在不同pH值(4.00、6.00、8.00和10.00)溶液中的电压进行测试,并得到该温度下的传感器分辨率。在不同溶液温度下对传感器的分辨率进行测试。测得不同溶液温度(25、20、15和10℃)下传感器的分辨率分别为28.31、23.45、19.33和13.62 mV/pH。通过温度补偿公式对pH值进行校准,计算得到的理论pH值与实际测量值的偏差≤0.25。传感器芯片具有体积小且易于集成的特点,可应用于各种水环境的检测。
文章关键词:
项目基金:《仪表技术与传感器》 网址: http://www.ybjsycgqbjb.cn/qikandaodu/2022/0405/948.html